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集微网消息，天眼查消息显示，中芯国际“一种晶圆支架”专利获授权，授权公告日为5月9日，授权公告号为CN218996672U。该专利的专利权人包括中芯北方集成电路制造（北京）有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司。

图片来源：天眼查

专利摘要显示，本申请提供一种晶圆支架，所述晶圆支架包括：平台；支撑结构，所述支撑结构包括一体式连接的安装部和支撑部，所述安装部嵌入所述平台中将所述支撑结构安装于所述平台上，所述支撑部的上表面高于所述平台的上表面用于支撑晶圆。

据悉，本申请提供一种晶圆支架，将支撑结构由贯穿式改成嵌入式，可以避免晶圆表面产生缺陷，提高晶圆加工的质量。（校对/刘沁宇）